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物理吸附仪在线配气装置产品概述
MFC-08在线配气系统，应用高精度质量流量计对气体流量进行控制，通过高性能气体混合罐实现气体均匀混合，通过软件可针对每路气体的流量进行调节和控制，并可进行配气应用方案设计，实现不同时间段配气浓度的自动调节。具备配气精度高、应用灵活、智能化等多个特点
物理吸附仪在线配气装置产品功能
1、1-8组气体的流量输出控制
2、2-8组气体的在线均匀混合
3、配气方案智能控制，可对各组气体流量进行程序控制，可使各组气体流量根据预设程序进行调控
4、多种配气方式可选
5、可外接各类仪器、反应器等
6、混合、独立等多种气路外接方式
7、气体预热功能
8、智能气路清洗功能
9、多种气体应用可选
物理吸附仪在线配气装置技术参数
1、混气装置：采用异形气体混合仓与气体扰流板技术
2、控制系统：全自动控制，并可对配气方案进行程序控制，实现流量、使用气体、使用时间的随意编程
3、气路系统：使用316L不锈钢管路及卡套式连接方式，使系统耐腐蚀、气密性好
4、气路控制系统：使用日本SMC电磁阀，并为每个气路设置单向阀，已防止气体逆行，所有电磁阀均由软件控制
5、配气方案：可根据求，实现对每组气体的流量进行编程调整，即流量的多段控制
6、应用气体：氨气、氮气、丙烷、乙炔、丙炔、二氧化硫、二氧化碳、二氧化氮、甲烷、氪气、氯化氢、氧气、氢气、氧化氮、氧化碳等
7、流量控制：0-200毫升/分钟、100-500毫升/分钟、500—1000毫升 /分钟可选
8、工作压差：（0.1 ~ 0.5） MPa
9、工作耐压：3 MPa
10、重复精度：±0.2 %
11、工作精度：±1 %
12、工作温度：5 ℃ ~ 45 ℃
更新时间：2024/4/22 16:52:07
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